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產品中心

精密氣浮隔振光學平臺

譜量光電研發制造的精密氣浮隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求。上面板采用優質高導磁SUS430不銹鋼,臺面內核為三層夾心式蜂窩結構,內核密度大幅度提高,具有優秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學元件。

產品介紹

  譜量光電研發制造的精密氣浮隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求。上面板采用優質高導磁SUS430不銹鋼,臺面內核為三層夾心式蜂窩結構,內核密度大幅度提高,具有優秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學元件。

  氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結構),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調節閥技術,反應靈敏,響應迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復初始的平衡狀態。支撐腿內部為二級氣室結構,氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產品,標配優質大功率超靜音壓縮機,整體結構保證平臺有較高的穩定性。

技術參數:

參數名稱參數指標
平面度≤0.05mm/m2
表面粗糙度<0.6μm
固有頻率X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz
振幅<2μm
螺孔間距25mm
孔距公差±0.05mm
螺孔規格M6(公制)
螺孔公差±0.03mm
載荷能力300Kg/m2
臺面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
臺面重量120Kg/m2@100mm厚, 140Kg/m2@200mm厚, 165Kg/m2@300mm厚 (≈)

產品選型表:

產品型號尺寸 (㎜)載荷 (kg)支撐腿數量支架寬度 (㎜)
PLGZQ-06600x600x8008004120x120
PLGZQ-075750x750x8008004120x120
PLGZQ-0906900x600x8008004120x120
PLGZQ-10071000x700x8008004120x120
PLGZQ-10081000x800x8008004120x120
PLGZQ-12081200x800x8008004120x120
PLGZQ-15091500x900x80014004200x200
PLGZQ-15101500x1000x80014004200x200
PLGZQ-16091600x900x80014004200x200
PLGZQ-18121800x1200x80014004200x200
PLGZQ-20102000x1000x80014004200x200
PLGZQ-20122000x1200x80014004200x200
PLGZQ-20152000x1500x80014004200x200
PLGZQ-24122400x1200x80014004200x200
PLGZQ-24152400x1500x80020004200x200
PLGZQ-30103000x1000x80020006200x200
PLGZQ-30123000x1200x80020006200x200
PLGZQ-30153000x1500x80020006200x200
PLGZQ-35123500x1200x80020006200x200
PLGZQ-35153500x1500x80020006200x200
PLGZQ-40154000x1500x80025006200x200
PLGZQ-42154200x1500x80025008200x200
PLGZQ-48154800x1500x80025008200x200
PLGZQ-54155400x1500x800250012200x200
PLGZQ-60156000x1500x800250012200x200

定制選項:

定制方式示意圖定制說明
無磁定制

精密無磁氣浮隔振光學平臺png.png

支持(臺面)無磁和(臺面支架)整體全無磁兩種形式

左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學平臺

非標準尺寸定制

非標尺寸光學平臺.jpg

各種非標準型號尺寸均可定制

左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學平臺

異型結構定制

異型結構定制.png


非標準矩形臺面等異型結構來圖定制

各類刻度線定位標識

刻度線.png

刻度線和定位標識定制

細節展示:

氣浮隔振光學平臺1.jpg

測試報告:

垂直固有頻率
垂直固有頻率.PNG
水平固有頻率
水平固有頻率.PNG
振幅
振幅.png


測試報告:

西湖大學——氣浮.jpg

西湖大學——平臺.jpg

廈門大學—氣浮.jpg

哈工大(深圳)——氣浮平臺.jpg

*各種尺寸規格均可按客戶需求定制。

還可點擊 譜量商城:精密氣浮隔振光學平臺,查看更多產品信息

標簽: 光學平臺

025-86550730