譜量光電研發制造的精密氣浮隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求。上面板采用優質高導磁SUS430不銹鋼,臺面內核為三層夾心式蜂窩結構,內核密度大幅度提高,具有優秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學元件。
  氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結構),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調節閥技術,反應靈敏,響應迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復初始的平衡狀態。支撐腿內部為二級氣室結構,氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產品,標配優質大功率超靜音壓縮機,整體結構保證平臺有較高的穩定性。
技術參數:
| 參數名稱 | 參數指標 | 
|---|
| 平面度 | ≤0.05mm/m2 | 
| 表面粗糙度 | <0.6μm | 
| 固有頻率 | X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz | 
| 振幅 | <2μm | 
| 螺孔間距 | 25mm | 
| 孔距公差 | ±0.05mm | 
| 螺孔規格 | M6(公制) | 
| 螺孔公差 | ±0.03mm | 
| 載荷能力 | 300Kg/m2 | 
| 臺面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm | 
| 臺面重量 | 120Kg/m2@100mm厚, 140Kg/m2@200mm厚, 165Kg/m2@300mm厚 (≈) | 
產品選型表:
| 產品型號 | 尺寸 (㎜) | 載荷 (kg) | 支撐腿數量 | 支架寬度 (㎜) | 
|---|
| PLGZQ-06 | 600x600x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-075 | 750x750x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-0906 | 900x600x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-1007 | 1000x700x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-1008 | 1000x800x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-1208 | 1200x800x800 | 800 | 4 | 120x120 | 
| PLGZQ-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 4 | 200x200 | 
| PLGZQ-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 6 | 200x200 | 
| PLGZQ-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 8 | 200x200 | 
| PLGZQ-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 8 | 200x200 | 
| PLGZQ-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 12 | 200x200 | 
| PLGZQ-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 12 | 200x200 | 
定制選項:
| 定制方式 | 示意圖 | 定制說明 | 
|---|
| 無磁定制 | 
 | 支持(臺面)無磁和(臺面支架)整體全無磁兩種形式 左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學平臺 | 
| 非標準尺寸定制 | 
 | 各種非標準型號尺寸均可定制 左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學平臺 | 
| 異型結構定制 | 
 | 
 非標準矩形臺面等異型結構來圖定制 | 
| 各類刻度線定位標識 | 
 | 刻度線和定位標識定制 | 
細節展示:
測試報告:
測試報告:
*各種尺寸規格均可按客戶需求定制。
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