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產(chǎn)品中心

三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺

譜量光電研發(fā)生產(chǎn)的三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺,是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),為超高精密實(shí)驗(yàn)需求開發(fā)的一款高性能氣浮隔振平臺,對標(biāo)業(yè)內(nèi)一線品牌,支腿為獨(dú)立式圓腿支撐,無整體共振,內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到更低的水平,并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺重新定位,層流阻尼技術(shù)大大提高阻尼效率,混合腔設(shè)計(jì)極大增加給定尺寸下的柔性體積,同時(shí)有效降低了固有頻率。

產(chǎn)品介紹

  譜量光電研發(fā)生產(chǎn)的三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺,是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),為超高精密實(shí)驗(yàn)需求開發(fā)的一款高性能氣浮隔振平臺,對標(biāo)業(yè)內(nèi)一線品牌,支腿為獨(dú)立式圓腿支撐,無整體共振,內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到更低的水平,并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺重新定位,層流阻尼技術(shù)大大提高阻尼效率,混合腔設(shè)計(jì)極大增加給定尺寸下的柔性體積,同時(shí)有效降低了固有頻率。

  平臺標(biāo)配大功率優(yōu)質(zhì)超靜音壓縮機(jī)。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁430不銹鋼具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn),經(jīng)精密研磨處理平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊達(dá)到無反射、亞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學(xué)元件,是超高精密科研實(shí)驗(yàn)的理想之選。

技術(shù)優(yōu)勢:

  • ● 微米級層流阻尼

  • ● SMC 納米級高流量氣動(dòng)執(zhí)行元件

  • ● 高性能氣動(dòng)減振器,共振頻率最低 1Hz

  • ● 支腿頂部配有安全連接件,大大提升安全性

  • ● 混合腔設(shè)計(jì)最大程度的提高了工作穩(wěn)定性與極低的固有頻率

  • ● 三線擺設(shè)計(jì)最大程度隔離振動(dòng)并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度復(fù)位

  • ● 頂部調(diào)節(jié)裝置可輕松完成±10mm 調(diào)節(jié)

  • ● 行業(yè)領(lǐng)先的蜂窩粘接焊接專利技術(shù)

技術(shù)參數(shù):

參數(shù)名稱參數(shù)指標(biāo)
平面度≤0.05mm/m2
表面粗糙度<0.8μm
固有頻率垂直<1.0-1.5Hz;水平<1.0-1.5Hz(同實(shí)際負(fù)載相關(guān))垂直共振低至 1Hz
減振效率垂直:5Hz 時(shí):85-90%;10Hz 時(shí):91-96%水平:5Hz 時(shí):87-92%;10Hz 時(shí):92-97%
振幅<2μm
孔距公差±0.05mm
螺孔規(guī)格M6(公制)
螺孔公差±0.03mm
載荷能力300Kg/m2
臺面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
臺面重量120Kg/m2@100mm厚, 140Kg/m2@200mm厚, 165Kg/m2@300mm厚 (≈)
調(diào)節(jié)方式自動(dòng)定心
隔振方式三線擺桿、混合腔結(jié)構(gòu)
阻尼方式微米級層流阻尼

測試數(shù)據(jù):

減振效率:垂直:5Hz 時(shí):91%;10Hz 時(shí):94%,水平:5Hz 時(shí):92%;10Hz 時(shí):97%

三線擺測試數(shù)據(jù)1.png

靜態(tài)振幅測試結(jié)果:0.00192

三線擺測試數(shù)據(jù)2.png

固有頻率測試結(jié)果:垂直固有頻率 1.40625Hz

三線擺測試數(shù)據(jù)3.png

水平固有頻率 1.25Hz

三線擺測試數(shù)據(jù)4.png

產(chǎn)品選型表:

產(chǎn)品型號尺寸 (㎜)載荷 (Kg)支腿外徑 (㎜)支腿數(shù)量
PLGQS-12081200x800x8008003004支撐
PLGQS-15091500x900x80014003004支撐
PLGQS-15101500x1000x80014003004支撐
PLGQS-16091600x900x80014003004支撐
PLGQS-18101800x1000x80014003004支撐
PLGQS-18121800x1200x80014003004支撐
PLGQS-20102000x1000x80014003004支撐
PLGQS-20122000x1200x80014003004支撐
PLGQS-20152000x1500x80014003004支撐
PLGQS-24122400x1200x80014003004支撐
PLGQS-24152400x1500x80020003004支撐
PLGQS-30103000x1000x80020003006支撐
PLGQS-30123000x1200x80020003006支撐
PLGQS-30153000x1500x80020003006支撐
PLGQS-35123500x1200x80020003006支撐
PLGQS-35153500x1500x80020003006支撐
PLGQS-40154000x1500x80025003008支撐
PLGQS-42154200x1500x80025003008支撐
PLGQS-48154800x1500x80025003008支撐
PLGQS-54155400x1500x800250030010支撐
PLGQS-60156000x1500x800250030010支撐

定制選項(xiàng):

定制方式示意圖定制說明
無磁定制

精密無磁氣浮隔振光學(xué)平臺png.png

支持(臺面)無磁和(臺面支架)整體全無磁兩種形式

左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學(xué)平臺

非標(biāo)準(zhǔn)尺寸定制

非標(biāo)尺寸光學(xué)平臺.jpg

各種非標(biāo)準(zhǔn)型號尺寸均可定制

左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學(xué)平臺

異型結(jié)構(gòu)定制

異型結(jié)構(gòu)定制.png


非標(biāo)準(zhǔn)矩形臺面等異型結(jié)構(gòu)來圖定制

各類刻度線定位標(biāo)識

刻度線.png

刻度線和定位標(biāo)識定制

細(xì)節(jié)展示:

三線擺式細(xì)節(jié)展示.jpg


*各種尺寸規(guī)格均可按客戶需求定制。

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標(biāo)簽:

025-86550730