• 直徑8英寸，高度7英寸的304材質(zhì)真空室；

• 上蓋帶4英寸石英觀察窗；

• 下法蘭帶固定端，與光學平臺連接；

• 直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺，平整度5μm

• 1個KF40抽真空排氣口，3個CF16充氣口，1個KF16電阻規(guī)接口，1個KF16放氣口，1個KF40預(yù)留接口，1個DN63 BNC真空貫穿接口，2個冷卻液接口，4個探針座接口,2個電源接口

• 位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定；

• 采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪；

• 行程：X軸40mm，Y軸40mm，Z軸40mm；

• 分辨率3μm，重復(fù)定位精度±2μm，單軸直線度±2μm，自重1.5Kg，負載5.5Kg；

• 三同軸探針夾具 漏電精度100fA，接三同軸公接口，陶瓷結(jié)構(gòu)；

• 探針臂，采用304不銹鋼光軸，保證水平的準直度和剛性；

• 探針臂移動真空密封裝置，配置可壓縮50mm的焊接波紋管，保證壽命可靠運行100萬次；

• 配備美國進口三軸線纜，低漏流，高精度，滿足大部分器件測試分析。

• 光學隔振平臺專門設(shè)計的水平減震機構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個方向上都提供了優(yōu)異的減振性能，減振器自身的自然振動頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺；

• 穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊；

• 平面度＜0.10mm/m²；

• 固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；

• 振幅＜1.2μm；

• 重復(fù)定位精度±0.05mm。

• 配高清成像CCD，采用USB連接電腦，2000萬像素，可以拍照錄像；

• 控溫系統(tǒng)采用日本島電控溫儀表配置溫控線圈。熱電偶形變成材，環(huán)PID控溫和自整定溫補調(diào)節(jié)，智能化30段程序編程控制，控溫精度可達±1°C，顯示精度1°C，溫度均勻性±3°C；

• 最高溫度600°C，最低溫度-142°C；

• 高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成

1、真空機械泵采用中韓合資型號TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于5Pa；

• 配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能 可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除機械泵震動所帶給探針臺的影響。

• 真空測量配置國產(chǎn)成都睿寶電阻真空計，安裝1個全金屬KF16電阻規(guī)

2、配風冷復(fù)合分子泵+機械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。機組為可移動臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣需要。

• 分子泵：JTFB-600，抽速600L/s的國產(chǎn)風冷復(fù)合分子泵；

• 機械泵：TRP-3，抽速3L/s的合資機械泵；

• 復(fù)合真空計：PDF-5227，CF35電離規(guī)和KF16電阻規(guī)；

• 轉(zhuǎn)接真空室：CF100—KF40，高度200mm；