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原位高精度電動拉伸探針臺

隨著近年來柔性電子材料與器件及壓電薄膜材料等領域的日漸崛起，如柔性可穿戴傳感器，人機交互、儲能換能器件、軟體智能機器等應用更是吸引眾多研究者的關注。針對該研究領域，我司特開發TLPS-E系列原位高精度電動拉伸探針臺產品，為柔性薄膜材料、壓電材料等相關提供研究解決方案，是研究材料不同曲率條件下光電特性變化的有力工具。

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產品介紹

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

隨著近年來柔性電子材料與器件及壓電薄膜材料等領域的日漸崛起，如柔性可穿戴傳感器，人機交互、儲能換能器件、軟體智能機器等應用更是吸引眾多研究者的關注。針對該研究領域，我司特開發TLPS-E系列原位高精度電動拉伸探針臺產品，為柔性薄膜材料、壓電材料等相關提供研究解決方案，是研究材料不同曲率條件下光電特性變化的有力工具。

技術優勢：

● 樣品臺XY二維手動調節，整體調節精度達3μm；
● 超薄四軸電動拉伸臺，重復定位精度高達1μm;
● 頂絲夾持式夾具，四向固定，也可根據實驗需求定制；
● 激光顯微鏡，5檔物鏡轉盤，可引入激光完成光電流測試；
● 顯微鏡電動調焦，行程150mm，重復定位精度高達1μm;

● 集成式電動控制器，上位機及高精度手柄;控制；
● 標配3個3μm精度直流探針座（可選配）；
● 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;
● 配置顯微鏡XY二維輔助調節，行程50mm，調節精度3μm。

細節展示：

原位高精度電動拉伸探針臺.jpg

詳細模塊配置及參數說明：

名稱	型號	單位	數量	參數
探針臺臺體	MPT-H	套	1	底部蜂窩隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振二維調節樣品架，XY軸行程110mm，整體分辨率3μm 兩邊龍門架結構，尺寸：300mm150mm190mm
探針座	TPLS-UP	套	3	三維調節，整體調節精度3μm（可選配0.5μm，1μm）測量電流：10pA/100fA（屏蔽箱環境）-10A 行程：XYZ行程分別13mm 固定方式：可調磁吸吸附；探針夾持角度：偏擺60°；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	LMU-FB	套	1	高分辨激光成像顯微鏡，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物鏡（可選），五檔位物鏡轉盤；圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；照明光源：白色LED照明：同軸照明系統，選用高亮度單顆3W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓3W LED控制器，可調光；集成 XY 手動位移調節以及電動升降調焦，XY行程50mm，調節精度3μm，升降行程150mm，精度達1μm；
原位電動四軸拉伸臺	HST-04	套	1	四軸電動控制，行程50mm，臺面尺寸40*25mm；重復定位精度達1μm，運行平穩度0.01mm；四軸運動控制器，上位機及高精度手柄控制；支持二次開發協議以及基于Labview程序開發定制；
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。

常規選型：

產品型號	樣品臺位移精度	拉伸臺行程	拉伸臺位移精度	漏電流精度	探針座數量	選配
TLPS-E	3μm	50mm	1μm	100fA	3個	精確控溫臺

應用領域：

柔性電子材料與器件壓電薄膜半導體壓電材料柔性科穿戴器件換能器壓電傳感

譜量光電可根據客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢。

標簽：探針臺