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產品中心

高精度電動探針座

譜量高精度電動探針座基于高精度電動位移裝置,兼容 5 相步進電機,搭配五相高精度高分辨率驅動器,低速無抖動,實現微米級定位;譜量光電可以按客戶的需求匹配不同系列的探針座以及控制,與客戶現有設備完美結合。

產品介紹

      譜量高精度電動探針座基于高精度電動位移裝置,兼容 5 相步進電機,搭配五相高精度高分辨率驅動器,低速無抖動,實現微米級定位;譜量光電可以按客戶的需求匹配不同系列的探針座以及控制,與客戶現有設備完美結合。

產品特點:

  • ● 搭配我司多軸運動控制系統以及運動手輪組合,輕松實現多軸聯動以及單軸運動匹配。

  • ● 單個控制器最多可以連接三個探針座,實現 9 個自由度的組合自動位移。

  • ● 軟件交互界面非常清晰,可以單軸操作,也可以同時勾選任意軸進行同時操作,支持一鍵多軸/單軸回零。

  • ● 可以獨立的操作某一個軸,也可以多個軸組合運動;每個軸的速度可以單獨控制。

  • ● 匹配多種自動控制,實現多軸聯動以及多軸插補運動,同時支持陣列運動以及導入 CAD 圖紙功能。

  • ● 可以滿足自動生產線和自動實驗設備的功能需要。

細節展示:

高精度電動探針座詳情頁.jpg

產品硬件:

參數名稱指標
探針位移行程XYZ 三軸行程:15mm × 15mm × 15mm
匹配電機匹配高分辨率高精度五相步進電機:分辨率 1.5μm
升降調節具備升降手動調節功能:調節行程 15mm,分辨率 0.5μm
移動速度最大速度:10mm/s,包含正負限位和原點
固定方式底部磁性可調底座:通過旋鈕調節磁性有無,匹配3種夾具和2種線纜

產品軟件:

  • ● 需要搭配我司高精密運動控制器

  • ● 可以實時讀取運動狀態,絕對坐標、相對坐標、工作坐標

  • ● 支持二次開發,用戶可自行搭建自己的運動控制系統

手動操作

支持多軸以不同速度多軸/單軸運動;

支持軸點動、連續運動;

支持點選歸零。

高細分數微步

支持零位偏移功能;

支持相對運動、絕對運動、點動、用戶坐標運動;

支持多軸聯動等功能。

自動控制

支持任意單軸/多軸以不同速度、不同移動距離形式聯動/點動;

編程運動,完成多種插補運動;

可以設置循環次數。

圖紙運行

可以支持圖紙編輯不同軸;

以不同速度等參數完成設置好的運行軌跡;

也可以導入 CAD 圖紙。

操作方式:

目前我司高精度電動探針座提供兩種操作方式,可適配不同的操作環境和操作習慣。

操作一

通過運動手輪組控制五相步進電機操作探針座

運動手輪(壓縮).png

01 運動手輪

?

精密運動控制器-3(1).png

02 步進電機

?

電動探針座正面PNG(?。?png


03 探針座

操作二

通過軟件控制五相步進電機操作探針座

精密運動控制軟件界面.png

01 軟件

?

精密運動控制器-3(1).png

02 步進電機

?

電動探針座正面PNG(?。?png

03 探針座

常規選型:

產品型號調節精度配套線纜最大速度漏電流精度
TPES-UP~1μm三同軸線纜/同軸線纜10mm/s100fA/10pA

應用領域:

適用于R/F測量I/O點測量直流DC測試晶圓測試電阻電壓測試太陽能電池測試光電流測試半導體器件分析測試

譜量光電可根據客戶實際應用需求,定制配套探針臺系統,以達更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯系詳詢。

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標簽:

025-86550730