底部橡膠隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；

三維調節樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調，±5°精調；

兩邊龍門架結構，尺寸: 300mm*150mm*190mm；

三維調節，整體調節精度3μm（可選配05μm，1μm）;

測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環境)-10A；

行程：XYZ行程分別13mm；

固定方式：可調磁吸吸附；

探針夾持角度：偏擺60°；

配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。

放大倍數：402-270倍；

圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；

中心距離：140mm，總高：350mm，升降范圍270mm；

目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場φ23mm；

外置高亮無極調節亮度環形LED光源；

配置顯微鏡萬向支架；

配置高清顯示器及顯示器萬向支架；

可選配XY二維調節裝置，行程25*25mm，分辨率3um；

可據需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。

臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，有鍍金、鋁合金、紫銅材質；

4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔；

PID控溫，可加熱至300℃，控溫精度±0.1℃；

有效區域溫度均勻性±5℃；

標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩定運行；

搭配聚四氟材質旋轉可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉；

背電極設計，可引出背電極；

吸附孔獨立圓槽設計，增強吸附能力，絕緣電學分離處理；

單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關；真空吸附套裝附件。

鎢鋼探針：長38mm，直徑05mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑05mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。