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行程20mm，重復定位精度 ±0.5μm
專業運動控制系統，確保精確操作
溫控芯片臺，真空吸附，TEC控溫范圍15-80℃，整體四維調節
磁吸固定，確保操作穩定性
成像分屏顯示
支持粗掃光、爬山、精細爬山三種模式，自動搜光，水平/垂直單獨界面控制
交付地點： 南京某新型科研機構 | 交付時間：2025年7月15日
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發布時間：2025-07-15
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