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發布時間：2025-06-26 12:59:17 人氣：
南京譜量光電科技有限公司
隨著二維材料技術的快速發展，基于微操控干法轉移技術的應用正不斷拓展到新興領域。目前已在眾多新型柔性傳感器，包括柔性壓力/應變傳感器、可穿戴生化傳感器等方向，以及穿戴電子皮膚、智能農業等方面展現出應用前景。
利用PDMS干法轉移組裝二維半導體材料，是構筑柔性邏輯電路的重要手段。
早期已有團隊轉移單層MoS?（n型）和WSe?（p型）構成柔性CMOS反相器，實現了接近理想的電壓傳輸特性和低功耗邏輯功能。
近年來這一領域取得重大進展：中科院物理所科研團隊在2024年報道了中規模柔性集成電路，在柔性基底上集成了112個基于單層MoS?的晶體管。
這些柔性邏輯器件在彎折應力下保持穩定工作，顯示出優秀的柔性和可靠性。同時，采用PDMS干法精確對位轉移二維晶體材料，確保了不同材料層間潔凈的范德華接觸。
在柔性可穿戴神經接口方面，PDMS干法轉移同樣發揮了關鍵作用。典型例子是石墨烯基柔性神經電極陣列的研制。
半導體所等單位的研究團隊采用顯微PDMS干法多次對準轉移，將小片石墨烯拼接轉移到柔性基底上，與微納加工的ITO電極相結合，制備出透明柔性石墨烯-ITO微電極陣列。
相比傳統金屬電極，石墨烯電極完全透明且抗光照偽差，不干擾光學成像。PDMS干法轉移在該工作中確保了石墨烯在大面積沉積ITO基底時無裂紋、無褶皺。
自2020年以來微操控干法轉移技術在二維材料柔性電子應用中煥發新機遇，催生了一系列新穎器件和應用場景。表格匯總了部分代表性研究：
隨著轉移工藝的進一步改進，我們有望在柔性顯示、智能仿生電子皮膚、植入式醫療電子等領域看到更多二維材料的新穎應用。傳統PDMS干法轉移作為成熟技術，將繼續在柔性電子前沿發揮不可或缺的作用。
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