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產品中心

通用型0.7μm探針座

通用型探針座,探針夾具設計更為通用,適用于多種標準化測試任務。如測試樣品電極分布較為規整,無需特殊角度扎針測試,可優先選擇通用型探針座

產品介紹

探針座作為探針臺的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導體芯片的電參數測試提供一個導通條件,從調節精度上來區分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區分可分為手動和電動,此外根據應用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應用于半導體及光電行業的電學參數測試。

通用型探針座,探針夾具設計更為通用,適用于多種標準化測試任務。如測試樣品電極分布較為規整,無需特殊角度扎針測試,可優先選擇通用型探針座

技術優勢:

  • ● 主體材質采用進口航空鋁,表面噴砂氧化,優質的機械性能;

  • ● 采用進口交叉滾珠導軌,超高穩定性;

  • ● 采用進口高分辨率微分頭驅動,提高整體位移精度;

  • ● 多功能調節夾具,可以實現180°旋轉及60°定向傾斜調節;

  • ● 適用于在顯微鏡下定向調節探針,無阻礙遮擋;

  • ● 底部超強可調磁性底座,磁性吸附可達10Kg,保證針的穩定性;

  • ● 可選配升級真空吸附,搭配7L/min真空泵。

細節展示:

0.7μm探針座詳情頁.jpg

技術參數:

參數名稱指標
探針位移行程XYZ三維分別13mm,180°旋轉,精密60°角度傾斜(可鎖緊)
整體結構外形尺寸300mm*82mm*120mm (LWH)
探針位移精度0.7μm
漏電精度10pA@同軸線纜, 100fA@進口三同軸線纜
可選接頭同軸線纜 (BNC, 鱷魚夾, 香蕉插頭) / 進口三同軸線纜 (三同軸接口)
測量范圍電流:10pA/100fA~10A,電壓:最大1000V

常規選型:

產品型號調節精度配套線纜漏電流精度
TPLS007-UP0.7μm同軸線纜
(可選BNC/鱷魚夾/香蕉插頭)
10pA
TPLS007H-UP0.7μm三同軸線纜100fA

應用領域:

適用于R/F測量I/O點測量直流DC測試晶圓測試電阻電壓測試太陽能電池測試光電流測試半導體器件分析測試

譜量光電可根據客戶實際應用需求,定制配套探針臺系統,以達更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯系詳詢。

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標簽:

025-86550730