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產(chǎn)品中心

通用型0.5μm探針座

通用型探針座,探針夾具設(shè)計更為通用,適用于多種標(biāo)準(zhǔn)化測試任務(wù)。如測試樣品電極分布較為規(guī)整,無需特殊角度扎針測試,可優(yōu)先選擇通用型探針座

產(chǎn)品介紹

探針座作為探針臺的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個導(dǎo)通條件,從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區(qū)分可分為手動和電動,此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。

通用型探針座,探針夾具設(shè)計更為通用,適用于多種標(biāo)準(zhǔn)化測試任務(wù)。如測試樣品電極分布較為規(guī)整,無需特殊角度扎針測試,可優(yōu)先選擇通用型探針座。

技術(shù)優(yōu)勢:

  • ● 主體材質(zhì)采用進(jìn)口航空鋁,表面噴砂氧化,優(yōu)質(zhì)的機(jī)械性能;

  • ● 采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,超高穩(wěn)定性;

  • ● 采用進(jìn)口高分辨率微分頭驅(qū)動,提高整體位移精度;

  • ● 多功能調(diào)節(jié)夾具,可以實(shí)現(xiàn)180°旋轉(zhuǎn)及60°定向傾斜調(diào)節(jié);

  • ● 適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針,無阻礙遮擋;

  • ● 底部超強(qiáng)可調(diào)磁性底座,磁性吸附可達(dá)10Kg,保證針的穩(wěn)定性;

  • ● 可選配升級真空吸附,搭配7L/min真空泵。

細(xì)節(jié)展示:

0.5μm探針座詳情頁.jpg

技術(shù)參數(shù):

參數(shù)名稱指標(biāo)
探針位移行程XYZ三維分別13mm,180°旋轉(zhuǎn),精密60°角度傾斜(可鎖緊)
整體結(jié)構(gòu)外形尺寸300mm*82mm*120mm (LWH)
探針位移精度0.5μm
漏電精度10pA@同軸線纜, 100fA@進(jìn)口三同軸線纜
可選接頭同軸線纜 (BNC, 鱷魚夾, 香蕉插頭) / 進(jìn)口三同軸線纜 (三同軸接口)
測量范圍電流:10pA/100fA~10A,電壓:最大1000V

常規(guī)選型:

產(chǎn)品型號調(diào)節(jié)精度配套線纜漏電流精度
TPLS005-UP0.5μm同軸線纜
(可選BNC/鱷魚夾/香蕉插頭)
10pA
TPLS005H-UP0.5μm三同軸線纜100fA

應(yīng)用領(lǐng)域:

適用于R/F測量I/O點(diǎn)測量直流DC測試晶圓測試電阻電壓測試太陽能電池測試光電流測試半導(dǎo)體器件分析測試

譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套探針臺系統(tǒng),以達(dá)更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯(lián)系詳詢。

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標(biāo)簽:

025-86550730