精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）

TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選。相比常規(guī)款TLRH精密基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)，TLRH精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）將體式顯微鏡升級(jí)為更好成像效果的金相顯微鏡，以方便更小尺寸樣品的觀察與扎針。

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產(chǎn)品介紹

探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。

TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選。相比常規(guī)款TLRH精密基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)，TLRH精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）將體式顯微鏡升級(jí)為成像效果更好的金相顯微鏡，以方便更小尺寸樣品觀察與扎針。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

● 模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；
● 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；
● 探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；
● 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試；
● 滿足1μm以上電極/PAD使用；

● 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）；
● 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)；
● 加寬探針?lè)胖眉埽煞胖?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；
● 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。

細(xì)節(jié)展示：

精密型基礎(chǔ)增強(qiáng)測(cè)試探針臺(tái).jpg

詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說(shuō)明：

名稱	型號(hào)	單位	數(shù)量	參數(shù)
探針臺(tái)臺(tái)體	PBL	套	1	底部蜂窩隔振面包板，尺寸450mm600mm50mm帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)；兩邊半圓形高穩(wěn)定性探針架，集成真空吸附開(kāi)關(guān)，帶有連接標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具接口（探針卡單買），表面鐵磁不銹鋼材質(zhì)，拉絲鍍鉻處理，保證磁吸穩(wěn)定性的同時(shí)防止生銹。
探針座	TPLS-UP	套	2	三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）; 測(cè)量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；行程：XYZ行程分別13mm；固定方式：可調(diào)磁吸吸附；探針夾持角度：偏擺60°；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	ST51	套	1	整體最大放大倍率：200~1000倍；超高像素CCD，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；選用2X，5X，10X，20X，50X物鏡；金相顯微鏡；高清顯示器及顯示器萬(wàn)向支架；標(biāo)配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um；
真空吸附卡盤	PVS-04	套	1	臺(tái)面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； 4英寸3個(gè)吸附孔，6/8英寸4個(gè)吸附孔，12英寸5個(gè)吸附孔；標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油真空泵，吐出空氣量7L/min,長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行；搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；背電極設(shè)計(jì)：可引出背電極；吸附孔圓槽設(shè)計(jì)，增強(qiáng)吸附能力；單獨(dú)吸附孔道，獨(dú)立真空吸附開(kāi)關(guān)；真空吸附套裝附件。
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長(zhǎng)51mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。

常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)	樣品臺(tái)尺寸	樣品臺(tái)位移精度	探針座位移精度	漏電流精度	探針座數(shù)量
TLRH-04	4英寸	3μm	3μm	100fA	3個(gè)
TLRH-06	6英寸	3μm	3μm	100fA	3個(gè)
TLRH-08	8英寸	3μm	3μm	100fA	3個(gè)
TLRH-12	12英寸	3μm	3μm	100fA	3個(gè)

實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟：

光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。

測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測(cè)物體，通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面，待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)功率器件測(cè)試MEMS測(cè)試PCB測(cè)試液晶面板測(cè)試測(cè)量表面電阻率測(cè)試精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)航空航天實(shí)驗(yàn)

譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。

標(biāo)簽：

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