簡(jiǎn)易型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)

TLRS系列簡(jiǎn)易型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)產(chǎn)業(yè)用戶生產(chǎn)檢測(cè)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款簡(jiǎn)易便攜高性價(jià)比探針臺(tái)，滿足產(chǎn)線基本電學(xué)參數(shù)測(cè)試同時(shí)兼顧低成本優(yōu)勢(shì)，已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域批量檢測(cè)的理想之選。

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產(chǎn)品介紹

探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。

TLRS系列簡(jiǎn)易型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)產(chǎn)業(yè)用戶生產(chǎn)檢測(cè)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款簡(jiǎn)易便攜高性價(jià)比探針臺(tái)，滿足產(chǎn)線基本電學(xué)參數(shù)測(cè)試同時(shí)兼顧低成本優(yōu)勢(shì)，已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域批量檢測(cè)的理想之選。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

● 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，高性價(jià)比;
● 樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié)，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊;
● 滿足1μm以上電極/PAD使用;
● 兼容多種顯微鏡，可引入光路，完成光電mapping測(cè)試;

● 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
● 精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);
● U型探針架, 可以放置多個(gè)探針座;
● 整體尺寸小，方便攜帶，底部蜂窩隔振板，提高測(cè)試穩(wěn)定性。

細(xì)節(jié)展示：

簡(jiǎn)易型探針臺(tái)介紹.jpg

詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說(shuō)明：

名稱	型號(hào)	單位	數(shù)量	參數(shù)
探針臺(tái)臺(tái)體	PBL	套	1	底部隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110/150mm，Z軸行程10mm，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊； U型探針架，可放置多個(gè)探針座。
探針座	TPLS-UP	套	2	三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm（可選配0.5μm，1μm，3μm）；測(cè)量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；行程：XYZ行程分別13mm；固定方式：可調(diào)磁吸吸附，真空吸附，螺絲固定；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	ST51	套	1	體式顯微鏡；放大倍率：40.2~270倍；圖像傳感器：2000萬(wàn)像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；目鏡：采用高眼點(diǎn)超廣角目鏡，視場(chǎng)Φ23mm；外置高亮無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源；配置顯微鏡萬(wàn)向支架；高清顯示器及顯示器萬(wàn)向支架；可搭配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25×25mm，分辨率3μm；可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。
真空吸附卡盤(pán)	PVS-04	套	1	臺(tái)面尺寸：4/6英寸可選，不銹鋼材料底；標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油真空泵，吐出空氣量7L/min,長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行；環(huán)形吸附模式，增強(qiáng)吸附力；背電極設(shè)計(jì)：可引出背電線；真空吸附套裝附件。
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長(zhǎng)51mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。

常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)	樣品臺(tái)尺寸	樣品臺(tái)X移精度	樣品臺(tái)Y移精度	漏電流精度	探針座數(shù)量
TLRS-04	4英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)
TLRS-06	6英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)

實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟：

光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。

測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測(cè)物體，通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面，待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)功率器件測(cè)試MEMS測(cè)試PCB測(cè)試液晶面板測(cè)試測(cè)量表面電阻率測(cè)試精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)航空航天實(shí)驗(yàn)

譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。

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