標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)

TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的一款高性價(jià)比探針臺(tái)系統(tǒng)，其功能齊全，滿足常規(guī)IV電學(xué)測(cè)試需要，廣泛應(yīng)用于芯片、半導(dǎo)體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。

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產(chǎn)品介紹

探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的用途。電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

● 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，高性價(jià)比;
● 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試;
● 滿足1μm以上電極/PAD使用;
● 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)及微調(diào)升降;

● 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
● 精密絲桿/燕尾傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);
● 模塊化設(shè)計(jì)，可據(jù)應(yīng)用需要增減相應(yīng)模塊，性價(jià)比高。

細(xì)節(jié)展示：

標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái).jpg

詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說(shuō)明：

名稱	型號(hào)	單位	數(shù)量	參數(shù)
探針臺(tái)臺(tái)體	PBL	套	1	底部蜂窩隔振面包板，臺(tái)面尺寸450mm600mm50mm，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程50mm，Z軸行程60mm，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊；兩邊龍門架結(jié)構(gòu)，尺寸：300mm150mm190mm。
探針座	TPLS-UP	套	2	三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm（可選配0.5μm，1μm，3μm）；測(cè)量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；行程：XYZ行程分別13mm；固定方式：可調(diào)磁吸吸附，真空吸附，螺絲固定；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	ST51	套	1	體式顯微鏡；放大倍率：40.2~270倍；圖像傳感器：2000萬(wàn)像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；目鏡：采用高眼點(diǎn)超廣角目鏡，視場(chǎng)Φ23mm；外置高亮無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源；配置顯微鏡萬(wàn)向支架；高清顯示器及顯示器萬(wàn)向支架；可搭配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25×25mm，分辨率3μm；可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。
真空吸附卡盤	PVS-04	套	1	臺(tái)面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； 4英寸3個(gè)吸附孔，6/8英寸4個(gè)吸附孔，12英寸5個(gè)吸附孔；標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油真空泵，吐出空氣量7L/min,長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行；搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；背電極設(shè)計(jì)，可引出背電極；吸附孔圓槽設(shè)計(jì)，增強(qiáng)吸附能力；單獨(dú)吸附孔道，獨(dú)立真空吸附開(kāi)關(guān)；真空吸附套裝附件。
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長(zhǎng)51mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。

常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)	樣品臺(tái)尺寸	樣品臺(tái)位移精度	探針座位移精度	漏電流精度	探針座數(shù)量
TLRB-04	4英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)
TLRB-06	6英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)
TLRB-08	8英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)
TLRB-12	12英寸	10μm	10μm	10pA	2個(gè)