精密型基礎測試探針臺

TLRH系列精密型基礎測試探針臺是我司根據高?？蒲屑爱a業研發需要，而特定設計的一款高精密高穩定探針臺，其較高的位移調節精度及優異的漏電精度控制，已成為包括場效應管在內的多端器件IV測試的理想之選。

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產品介紹

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

TLRH系列精密型基礎測試探針臺是我司根據高?？蒲屑爱a業研發需要，而特定設計的一款高精密高穩定探針臺，其較高的位移調節精度及優異的漏電精度控制，已成為包括場效應管在內的多端器件IV測試的理想之選。

技術優勢：

● 模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；
● 最大可用于12英寸以內樣品測試；
● 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節；
● 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電mapping測試；
● 滿足1μm以上電極/PAD使用；

● 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）；
● 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計；
● 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；
● 配顯微鏡二維精密調節功能，且可選配多種行程及驅動方式。

細節展示：

詳細模塊配置及參數說明：

名稱	型號	單位	數量	參數
探針臺臺體	PBL	套	1	底部蜂窩隔振面包板，尺寸450mm600mm50mm帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；四維調節樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調，±5°精調；兩邊半圓形高穩定性探針架，集成真空吸附開關，帶有連接標準探針卡夾具接口（探針卡單買），表面鐵磁不銹鋼材質，拉絲鍍鉻處理，保證磁吸穩定性的同時防止生銹。
探針座	TPLS-UP	套	2	三維調節，整體調節精度3μm（可選配0.5μm，1μm）; 測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環境)-10A；行程：XYZ行程分別13mm；固定方式：可調磁吸吸附；探針夾持角度：偏擺60°；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	ST61	套	1	體式顯微鏡；放大倍率：40.2~270倍；圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場Φ23mm；外置高亮無極調節亮度環形LED光源；配置顯微鏡萬向支架；高清顯示器及顯示器萬向支架；標配XY二維調節裝置，行程25*25mm，分辨率3um；可據需求選配如激光顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。
真空吸附卡盤	PVS-04	套	1	臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質； 4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔；標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩定運行；搭配聚四氟材質旋轉可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉；背電極設計：可引出背電極；吸附孔圓槽設計，增強吸附能力；單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關；真空吸附套裝附件。
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。