探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

        TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來，實現高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路，實現光電流與IV的雙功能檢測，是光電芯片/器件測試的理想之選。

技術優勢：

細節展示：

詳細模塊配置及參數說明：

常規選型

實驗附件及常規測試步驟：

光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數字源表（含軟件）等。

測試時連接探針臺和數字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導通后打開源表軟件，選好參數即可出該觸點的I-V性能曲線。

應用領域：

半導體材料光電檢測功率器件測試MEMS測試PCB測試液晶面板測試測量表面電阻率測試精密儀器生產檢測航空航天實驗

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