發(fā)布時間：2025-03-15
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| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)值 |
|---|---|
| 不銹鋼真空腔體 | 4英寸真空卡盤，8英寸腔體，高增透4英寸石英窗口； |
| 實測真空度 | 優(yōu)于10^-5 Pa@分子泵 |
| 配置壓力表 | 實時顯示當(dāng)前氣壓值 |
| 漏電流精度 | ＜100fA |
| 高精度三同軸直流探針座 | 4個，位移調(diào)節(jié)精度高達1μm |
| 高精度射頻探針座 | 數(shù)量2，SMA接口，標(biāo)準(zhǔn)射頻探針夾具，位移調(diào)節(jié)精度高達1μm |
| 測試環(huán)境特性 | 整體滿足40G高頻真空環(huán)境測試 |
| 其他配置 | 高清單筒金相顯微鏡，4K數(shù)字成像相機，24英寸高清4K顯示器，整體多維度調(diào)節(jié) |
| 穩(wěn)定性相關(guān)設(shè)備 | 精密氣浮式隔振底臺，大功率超靜音低振空壓機，保證測試平臺整體穩(wěn)定無振動 |
| 交付地點 | 東南大學(xué) |
| 交付時間 | 2025年3月15日 |
| 交付產(chǎn)品 | 精密型真空直流/射頻探針臺 |
| 相關(guān)產(chǎn)品 | 我司專業(yè)提供高真空探針臺產(chǎn)品，配合高低溫及拉伸模塊（手動/電動）滿足多種不同應(yīng)用場景測試，是高精密真空環(huán)境測試的理想之選。 |
| 商城詳情 | 譜量商城——高低溫真空探針臺 |
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