發布時間：2024-12-24
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| 參數名稱 | 參數值 |
|---|---|
| 真空吸附卡盤 | 6英寸 |
| 樣品臺位移精度 | <3μm |
| 探針座位移精度 | ＜3μm |
| 漏電流精度 | ＜100fA |
| 探針座數量 | 4個 |
| 交付地點 | 東南大學 |
| 交付時間 | 2024年12月24日 |
| 交付產品 | 精密型基礎測試探針臺 |
| 增購產品 | 電磁屏蔽箱 |
| 商城詳情 | 譜量商城——精密型基礎測試探針臺 |
| 商城詳情 | 譜量商城——電磁屏蔽箱 |
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