發布時間：2020-11-12
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| 參數名稱 | 參數值 |
|---|---|
| 實測真空度 | <1pa（達0.17pa@機械泵) |
| 控溫范圍 | -140℃~600℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度均勻性 | ±3 ℃ |
| 探針位移調節 | 定位精度2um，分辨率3um，單軸直線度±2um |
| 漏電流精度 | 100fA |
| 樣品臺 | 4英寸紫銅材質樣品臺，平面度5um |
| 真空腔體 | 直徑8英寸，高度7英寸的304材質真空室 |
| 交付地點 | 南京理工大學 |
| 交付時間 | 2020年11月12日 |
| 交付產品 | 高低溫真空探針臺 |
| 商城詳情 | 譜量商城——高低溫真空探針臺 |
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