發(fā)布時(shí)間：2023-07-11
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| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)值 |
|---|---|
| 真空吸附卡盤 | 8英寸 |
| 樣品臺(tái)位移精度 | <3μm |
| 探針座位移精度 | ＜3μm |
| 漏電流精度 | ＜100fA |
| 探針座數(shù)量 | 3個(gè) |
| 交付地點(diǎn) | 南昌某國(guó)家級(jí)研究中心 |
| 交付時(shí)間 | 2023年7月11日 |
| 交付產(chǎn)品 | 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái) |
| 商城詳情 | 譜量商城——精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái) |
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