發(fā)布時間：2024-12-24
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| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)值 |
|---|---|
| 真空吸附卡盤 | 4/6英寸 |
| 樣品臺位移精度 | <3μm |
| 探針座位移精度 | ＜3μm |
| 漏電流精度 | ＜100fA |
| 探針座數(shù)量 | 3個/4個 |
| 交付地點(diǎn) | 東南大學(xué) 某課題組 |
| 交付時間 | 2024年12月24日 |
| 交付產(chǎn)品 | 精密型基礎(chǔ)測試探針臺 |
| 商城詳情 | 譜量商城——精密型基礎(chǔ)測試探針臺 |
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